中國武漢/荷蘭貝斯特--(美國商業資訊)--Vistec光刻有限公司今天非常高興的宣布,位于中國武漢的華中科技大學(武漢光電國家實驗室)的Vistec EBPG5000pES系統成功完成安裝調試,并且通過驗收.中國光電領域的重點實驗室武漢光電國家實驗室(WNLO),中國知名高校華中科技大學(HUST),業界領先的電子束光刻設備制造商Vistec視此為共同緊密的戰略合作中的一個重要里程碑.

　　Vistec的EBPG5000pES 電子束光刻系統將進一步增強武漢光電國家實驗室(WNLO)在光子學和光電領域的研發實力.”EBPG5000pES系統使我們能夠應對所有現今研發中精細光刻的需求.我們確信無論在應用方面還是技術服務方面,都能得到Vistec這一戰略合作伙伴的支持.”武漢光電國家實驗室,光電子微納制造工藝平臺(OMFC)主任夏金松教授說道.

　　Vistec EBPG5000pES 系統高度可靠,設計架構經過實際證明是頂級的電子束光刻工具.系統擁有靈活的光電透鏡系統,高亮度的熱場發射電子束源,可以穩定的工作在50KeV和100KeV的加速電壓,提供了小到2.2nm的束斑尺寸,因此,保障了最小分辨率可以穩定重復的達到小于8nm的結構.同時,系統采用了易用的交互圖形化操作界面(GUI),十分簡單容易使用在多用途,多用戶的學校和科研環境下.

　　“我們非常高興和武漢華中科技大學光電國家實驗室(WNLO)共同達到合作過程中這一里程碑的時刻,確信Vistec可以幫助華中科技大學光電國家實驗室實現更多的成功”,Vistec電子束光刻公司執行總裁Erwin Mueller先生說道.”武漢光電國家實驗室的電子束光刻系統是第一臺在中國境內安裝運行的EBPG5000pES系統,我們相信今后Vistec的業務在中國范圍內會有越來越多的穩定增長.”

　　媒體信息：

　　武漢光電國家實驗室

　　武漢光電國家實驗室(WNLO)是科技部于2003年11月批準籌建的五個國家實驗室之一。于2006年11月批準正式建設.由教育部、湖北省和武漢市共建，其依托單位是華中科技大學，另有三個組建單位：武漢郵電科學研究院、中國科學院武漢物理與數學研究所.更多詳細信息請查閱網站 http://www.wnlo.cn/

　　華中科技大學是國家教育部直屬的全國重點大學，由原華中理工大學、同濟醫科大學、武漢城市建設學院于2000年5月26日合并成立，是首批列入國家“211工程”重點建設和國家“985工程”建設高校之一。

　　按照“應用領先、基礎突破、協調發展”的科技發展方略，構建起了覆蓋基礎研究層、高新技術研究層、技術開發層三個層次的科技創新體系。建設有武漢光電國家實驗室、脈沖強磁場實驗裝置等國家重大科技基礎設施，還擁有5個國家重點實驗室、1個國防重點實驗室、6個國家工程（技術）研究中心、1個國家工程實驗室及一批省部級研究基地。

　　http://english.hust.edu.cn/about.html

　　Vistec電子束光刻集團

　　Vistec電子束光刻集團是一家生產制造和供應電子束光刻系統的國際公司.應用于包括納米科技,生物納米科技,微電子,光電子研發到工業用掩膜板制造和電子束硅片直寫等領域.Vistec電子束光刻集團包括Vistec光刻公司(Vistec Lithography)和Vistec電子束公司(Vistec Electron Beam).

　　Vistec光刻公司

　　Vistec光刻公司研發,生產和銷售高斯束技術的電子束光刻系統.Vistec的高斯束電子束光刻系統在全世界范圍內廣泛的服務于各大研究所,實驗室和大學.

　　Vistec電子束公司

　　Vistec電子束公司提供基于變形束技術的電子束光刻機,世界領先的半導體公司和許多研究所都在使用.Vistec的創新電子束系統適用于芯片制造,集成光器件,同時也包括科學和商用產品的開發應用.